しばらく、真空蒸着ネタはありませんでしたが・・・ 去る8/18（土）に駿台学園にて開催されました月例天文講座にて この真空蒸着装置の自作に関して講演させていただきました。 何とか無事に終了しました・・・ 直接天文と関係なさそうな講演テーマでしたが…

海外より小包が到着しました。 送り主は、Science-Surplus.comです。 ピンと来た方は、かなりディープかもしれません。 早速、開梱してみます。 最初に目にするのは、お手紙と六角アレン･･･ お手紙の内容は、「かなり上手に事前調整してあるので、いじくりま…

銀蒸着の条件テストの続きです。 前回は、Al2O3（アルミナ）膜をAg（銀）膜の下地で実施しようとしましたが Al2O3の純度の問題かで、ピールテストでのAg膜の密着はNGとなりました。 Ag膜がガラスとの密着に問題があるとすれば（まだ、確認には至っていない）…

蒸着材料屋さんより、アルミとは別の材料を購入しました。 このような材料もネットで購入できるので、大変便利な世の中になりました･･･ さて、なんでしょう。 答えは、銀線（Ag）です、純度99.99%のΦ1.2mmです。 今回は、銀蒸着のテストを行います。 銀ミラ…

研磨研究会つながりで、蒸着の依頼が来ました。 今回は、大物です･･･この蒸着装置で処理した鏡で口径記録更新です。 ･･･記録更新を目指しているわけではありませんが･･･ しっかりした木箱に入って到着です。 ･･･重たいです。 ご拝顔･･･ 大き～い、口径４６ｃ…

7/22から7/24の３日間で開催された、研磨研究会のお手伝いに出向きましたので、ちょっとご報告を。 今回は、例年の自動フーコテスタによる鏡の測定に加え、真空蒸着装置も持ち込むことを事前に了解を得て参加しました。真空蒸着装置の運搬は、いつもの軽カー…

7/22より北軽井沢で開催される、駿台学園主催の研磨研究会で蒸着装置デビューすることにしました。 軽自動車は先週車検に出して、無事戻ってきましたので、蒸着装置を分解して積込を実施しました。 ･･･何とか積めた状況です。 蒸着装置は、かなり分解してい…

蒸着の条件出しと共に、蒸着面の評価を開始しました。 見た目はきれいでも、よく見ると課題も見えてきます。 蒸着条件は、ほぼ決まってきましたが、蒸着面の出来栄えの良しあしは、蒸着条件だけでは決まりません。 まずは、下地のガラス面が清浄でないといけ…

蒸着条件の確認は継続中･･･ アルミの適正膜厚は、透過が認められなくなった程度を目安に調整できますが、SiO2の膜厚は、水晶膜厚計の値をアルミの値と比較しておおよその見当しかつきません。 そこで、ニュートンフリンジを使って確認してみます。 昨日より…

ここしばらく更新していませんでしたが、作業は進めています。 バラバラだった電気系を本体に組み込みを主に作業を進め、ほぼ完成に近づいてきました。 電気関係は左側面に収めました。 蒸着操作は、床に座り込んで操作するようにしました･･･ 床に座って、覗…

最近は、週末に次の週末で使用する材料（必要な材料のみ）手配する方式に変え、見込み発注は止めました･･･ 今週末は、蒸着フィラメント回路を切り替えるスイッチ（バッテリースイッチ）のパネル製作です。 パネル材料は３ｍｍ厚のＡ５０５２材を使用します。…

昨日に続き、今日は蒸着テストを２回実施しました。 水晶式膜厚計の発信周波数は 《二回目》 蒸着開始 5.98990MHz 蒸着終了 5.98650MHz 周波数変化 3.40KHz 《三回目》 蒸着開始 5.98650MHz 蒸着終了 5.98306MHz 周波数変化 3.44KHz 蒸着するアルミの量は各…

水晶式膜厚計のテスト結果の前に、アルミ蒸着用フィラメントを大量入手しました。 入手元はebayで置き古しのフィラメントです。 前回使っていたフィラメントよりも太いです。 このフィラメントでは４V９０Aで蒸着できました。 （上が今までのもの。下が今回…

アルミ蒸着の場合の膜厚管理は、覗き窓に蒸着される様子を見ていればある程度判断がつきますが、SiO2の蒸着では、透明なので変化がわかりません。 よって、チャンバーの中に膜厚をリアルタイムでモニタリングできるセンサーを付ける必要があります。 一般的…

今回は、アルミの上にＳｉＯ２を蒸着するテストを実施しました。 左側がアルミ蒸着用のフィラメントとフィラメントに引っ掛けたアルミ線 右側がタンタルボートの上に乗せたＳｉＯ２粒です。 これを、バッテリースイッチによって通電切り替えします。 鏡のセ…

昨日に引き続き、今度はアルミ蒸着テストです。 アルミ蒸着は、ガラスとの密着性が得られるか、またその条件を確認する目的で実施します。 アルミの蒸着にはタングステンフィラメントを使って、アルミ線を引っ掛ける方法で行います。 タングステンフィラメン…

プラネタリー機構に鏡ホルダーのアダプタ付け金具？を製作し組みつけたところです。 五月連休中に一気に進める予定でしたが、購入品の入着が遅れており、製作作業が停滞です････。 そこで、SiO2の蒸着テストをしてみることにしました。 以前のテストは、アル…

２０ｃｍまでの鏡であれば３枚同時に蒸着できるようにします。 各鏡の蒸着膜厚の均一性を高めるために蒸着中の鏡を回転させる機構を製作中です。 真空チャンバー内への回転伝達は磁性流体の回転導入装置を使っています。 外部にパルスモータを取り付けて回転…

ここしばらくは、上側チャンバーの昇降機構を設計製作しておりました。 上側チャンバーに鏡をセットするので、上昇させた状態でチャンバーを裏返しにできるように製作しました。 これで、鏡のセットも楽にできるはずです。 揚げ降ろしは、油圧のパンタグラフ…

昨日に続きフレームの製作です。 今日は、各機器の配置を決めてフレームに仮固定してみました。 3次元的な配置を事前に設計ことはせずに、現物合わせで配置を考えていきます。 ターボポンプとスクロールポンプが干渉するのでターボポンプを傾けて取り付け。 …

チャンバーの目処もたってきたので、この三連休でフレームの製作に取り掛かりました。 材料は３０ｍｍのＬアングル（鉄）です。 実は、２０１２年の夏に蒸着装置のフレームを制作したのですが、チャンバーの最終形が変わってしまったので、形状を変更する必…

上側チャンバーの製作状況ですが、本日ポートフランジの溶接作業を終えて、下側チャンバーとドッキングさせて、本引きテストを実施しました。 本引き前に、０．０５Ｍｐａ（０．５気圧）に加圧して、ジャジャもれが無いか確認しましたが、今回はＯＫみたいな…

やはり、鏡の回転機構を組み込むと平たい上蓋では鏡と蒸着フィラメントおよびプラズマ電極との距離が近すぎるようなので、当初の計画の上側チャンバーを復活してみることにしました。 上部のポートと補強リブの溶接が未完了のままであったので、溶接作業に取…

プラズマ電極の材料は、電気抵抗が低い方がロスは少ないと思い銅にしてみました。 蒸着フィラメントのシャッターはフィラメントで熱せられるのでステンレスです。 手配した材料部品が入着したので加工し取り付け完了。 シャッターは手動操作です。 ところで…

先日は、ネオントランスでプラズマが発生することを確認しましたが、ネオントランスではプラズマの出力が不足なのでRF電源を使用します。 使用するRF電源は13.56MHzの600Wで出力インピーダンスは50Ωのものです。 RF電源の出力をチャンバー内に突っ込むために…

新しくマッチングボックスを作り直す材料（アルミ板）とeｂayで購入した中古の高電圧導入端子が届いたので、これらの作業に取り掛かりました。 これが、高電圧導入端子です。 配管ねじはアメリカ規格の1/2-14NPTで、管タップがそこらでは手に入らないため、…

ホームセンターでボルトを調達して、仮組み立てをしてみました。 銅ブスバーとアルミの角棒はセラミックワッシャで絶縁してあります。 フィラメントは４本取り付けできるようになっており、アルミ蒸着とＳｉＯ２蒸着とで、使い分けします。 当初、アルミの角…

本日は、蒸着フィラメント周りの部品加工を実施し、５ｍｍ厚の銅のブスバーとアルミ部品の加工を終えたところ。 白いセラミックの部品はステアタイト碍子でプラズマ電極の絶縁用に使います。 明日、ホームセンターに出向いてボルトを調達してフィラメント部…

自作蒸着装置に使用する部品類も、ぼちぼち把握できてきたこの頃です。 振り返れば、10数年前に自作蒸着装置の製作活動を始め、途中製作を中断する時期もありましたが、その間も使えそうな部品が国内外オークションに出品される度に集めてきた、この不使用部…

プラズマ電極用の材料（テフロン丸棒、Ｏリング）を手配したので来週中には到着すると思います。 とりあえず、蒸着テストをまたやってみることにしました。 前回と何も変わってないので、繰り返しですが･･･ 蒸着テストは蒸着できるかの確認が目的なので、手…