昨日に続きフレームの製作です。 今日は、各機器の配置を決めてフレームに仮固定してみました。 3次元的な配置を事前に設計ことはせずに、現物合わせで配置を考えていきます。 ターボポンプとスクロールポンプが干渉するのでターボポンプを傾けて取り付け。 …

チャンバーの目処もたってきたので、この三連休でフレームの製作に取り掛かりました。 材料は３０ｍｍのＬアングル（鉄）です。 実は、２０１２年の夏に蒸着装置のフレームを制作したのですが、チャンバーの最終形が変わってしまったので、形状を変更する必…

上側チャンバーの製作状況ですが、本日ポートフランジの溶接作業を終えて、下側チャンバーとドッキングさせて、本引きテストを実施しました。 本引き前に、０．０５Ｍｐａ（０．５気圧）に加圧して、ジャジャもれが無いか確認しましたが、今回はＯＫみたいな…

やはり、鏡の回転機構を組み込むと平たい上蓋では鏡と蒸着フィラメントおよびプラズマ電極との距離が近すぎるようなので、当初の計画の上側チャンバーを復活してみることにしました。 上部のポートと補強リブの溶接が未完了のままであったので、溶接作業に取…