2016-02-27 プラズマ電極 真空蒸着装置 #物理学 プラズマ電極の材料は、電気抵抗が低い方がロスは少ないと思い銅にしてみました。 蒸着フィラメントのシャッターはフィラメントで熱せられるのでステンレスです。 手配した材料部品が入着したので加工し取り付け完了。 シャッターは手動操作です。 ところで、鏡のプラネタリー回転機構を上蓋に組み込むと、プラズマ電極と鏡の距離が近いような感じがしてきました、場合によっては上側チャンバーが計画復帰するかもしれません。