上側チャンバーの製作状況ですが、本日ポートフランジの溶接作業を終えて、下側チャンバーとドッキングさせて、本引きテストを実施しました。
本引き前に、０．０５Ｍｐａ（０．５気圧）に加圧して、ジャジャもれが無いか確認しましたが、今回はＯＫみたいなので、本引きに移りました。
本引きは、さすがにチャンバーの容量が増加したのと、しばらく開放状態で放置していたので圧力低下がやや遅い感じと、到達圧力が高めのような気がしましたので、先にイオンボンバートのテストを実施しました。
圧力３.7Ｐａ前後でＲＦプラズマを発生させます。
電極が銅フラットバーになったので、特性変化しマッチングが十分とれません。
今回は、コイルのターン数を１ターン減らすことで、何とかマッチングが取れました。
３０分くらい、2００Ｗ程度でプラズマをかけた後に本引き開始。
３.7Ｐａ程度からスタートして、約４０分で４Ｅ－３Ｐａまで到達しました。
とりあえず、蒸着で問題ない圧力には到達しているので、上側チャンバーは一発合格です。
動画でも判りますが、プラズマ電極の周囲が虹色になっています･･･電極がスパッタされているのかな？？
電極はステンレスの方が、良かったのかな？？
