先日は、ネオントランスでプラズマが発生することを確認しましたが、ネオントランスではプラズマの出力が不足なのでRF電源を使用します。 使用するRF電源は13.56MHzの600Wで出力インピーダンスは50Ωのものです。 RF電源の出力をチャンバー内に突っ込むために…