アルミ蒸着の場合の膜厚管理は、覗き窓に蒸着される様子を見ていればある程度判断がつきますが、SiO2の蒸着では、透明なので変化がわかりません。
よって、チャンバーの中に膜厚をリアルタイムでモニタリングできるセンサーを付ける必要があります。
一般的には、水晶式膜厚計を使用します。
水晶振動子は消耗品なのでebayより調達しました。
センサーヘッドの中古の出物が出てこないため、自作することにしました。
まずは、A2017の丸棒からケースを削り出しました。
右にあるのが水晶振動子（６MHｚ）です。
