アルミ蒸着の場合の膜厚管理は、覗き窓に蒸着される様子を見ていればある程度判断がつきますが、SiO2の蒸着では、透明なので変化がわかりません。 よって、チャンバーの中に膜厚をリアルタイムでモニタリングできるセンサーを付ける必要があります。 一般的…