自作蒸着装置に使用する部品類も、ぼちぼち把握できてきたこの頃です。 振り返れば、10数年前に自作蒸着装置の製作活動を始め、途中製作を中断する時期もありましたが、その間も使えそうな部品が国内外オークションに出品される度に集めてきた、この不使用部…

プラズマ電極用の材料（テフロン丸棒、Ｏリング）を手配したので来週中には到着すると思います。 とりあえず、蒸着テストをまたやってみることにしました。 前回と何も変わってないので、繰り返しですが･･･ 蒸着テストは蒸着できるかの確認が目的なので、手…

昨日、手配していた３８Ｓｑのキャプタイヤケーブルが到着していました。 本日は会社終わってからホームセンターに出向いて丸端子を購入して、電流導入端子とインバータ直流電源との接続を行い、その勢いで蒸着テストを行ってみました。 まずは、接続したケ…

テフロンシートからワッシャをコンパスカッターで切り抜きました。 シートは柔らかいので、簡単に切り抜くことができました。 製作したテフロンワッシャー、購入品のテフロンスリーブ、Ｏリングで銅端子を絶縁します。 Ｏリングはチャンバー内側に取り付けま…

蒸着フィラメントを加熱するための大電流端子を作るために直径２５ｍｍの銅丸棒を調達しました。 今後、多目的に使えるように５端子にすることにしました。 この丸棒を旋盤で加工して、端末にねじを切ります･･･が、うまくいかないので 結局、ダイスで雄ねじ…

今年最初の工作は、真空蒸着チャンバーへの部品取り付けです。 フランジを追加工して、ビューポートや回転導入を取りつけます。 これらの追加部品はＯリングでシールされます、溶接ではないので問題は発生しませんでした。 回転導入は２箇所です（蒸着フィラ…