プラズマ電極用の材料(テフロン丸棒、Oリング)を手配したので来週中には到着すると思います。
とりあえず、蒸着テストをまたやってみることにしました。
前回と何も変わってないので、繰り返しですが・・・
蒸着テストは蒸着できるかの確認が目的なので、手持ち材料で適当にやってます。
まずは蒸着材料は、ホームセンターで購入できるアルミ線
純度99.7%だそうです。
本番は99.999%くらいの材料でやるみたいです。
購入して数年経過しているので、表面も酸化していますがとりあえずテストには使えています。
次は蒸着フィラメント、これも前回の通りアルゴン溶接の電極流用です。
今回は、アルミの滴が横にながれないように少し曲げてみました。
そこに、アルミ線を巻き付けて使用しました。
続いて、蒸着するものです。
今回は、8cmの球面です。(昔、オークションで購入したもの)
鏡をアルコールで拭き上げ、フィラメントの前に縛り付けます。
これを、チャンバーにセットして蒸着します。
本来は、上蓋を外してセットしますが、重たくて面倒なので・・・
いつも通り、スクロール、TMPで真空引き。
今回は、大気解放状態から引いているので30分で5.0E-3Paとやや遅いペースでしたが、-3乗Pa半ばなのでフィラメントへの通電を開始して、まずはフィラメントにアルミをなじませます。
アルミがやんわりしてきた状態です。(アルミ線の右側がほどけてしまいました)
120Aくらいでアルミが滴になりひとまとまりになりましたが、チャンバー自体が傾いて置いてあったので左に流れてしまいました・・・・
のぞき窓の下側は、すでに蒸着されているので、フィラメントの状態が透けて見やすいくなっています。
そのまま、保持してアルミがほぼ蒸発しきったので蒸着終了です。
(アルミの量が少なかったかな・・・)
大気圧にもどして、上蓋を開きました。
チャンバー内の壁面も当然蒸着されやや艶が増しています。
蒸着された鏡です・・・一応それなりにできているように見えます。
こんな感じで仕上がってます。
蒸着終了した時点(約40分)での真空度は2.9E-3Paまで到達しており、記録更新しました。チャンバー内に熱が掛かったので脱ガスが進んだのでしょうか・・・