自作蒸着装置に使用する部品類も、ぼちぼち把握できてきたこの頃です。
振り返れば、10数年前に自作蒸着装置の製作活動を始め、途中製作を中断する時期もありましたが、その間も使えそうな部品が国内外オークションに出品される度に集めてきた、この不使用部品の山････そろそろ整理するかなぁ～。
一方、完成に向けて新たに調達した部品･･･消耗部品となるフィラメントとボート
フィラメントはアルミ蒸着用
ボート（タンタル）はSiO2蒸着用
今は、このような部品もネットで調達できる時代になった。
蒸着装置の自作を始めたころには、考えもしなかった････
と、考えつつ作業。
イオンボンバートを行うのに、チャンバー内に電極を設ける必要があるのですが、その配置をしばらく考えていましたが、よくわかりません。
ネットで閲覧できる岡山天文台の蒸着作業の資料を見ると、中央に”の”字型の電極を立てていますが、主鏡の中心には穴があるのでできるわけで、穴なしだと中央部のめっき厚みに影響がでるのではと考えると、周囲にリング状の電極が妥当なきがしてきた。
とりあえず、リング型で設計を進めることとして、必要そうな部品を集める･･･たぶん一部は、また不使用部品の山に加わることになりそうだが。
プラズマは高周波プラズマとなるので、チャンバーとのインピーダンスをマッチングさせる回路が必要、いわゆるマッチングボックスです。
これは、チャンバーに近い場所に設置するものであるため、チャンバーの外側にアルミケースを取り付けて抱かることにした。
手元の、マッチングボックスは自動整合用にステッピングモータがついているが、自動チューニングのノウハウもない。 よって、まずは手動チューニングでやるため、パルスモータは不要（不使用部品の山行き）、そうすると、コンパクトになるので丁度良いサイズとなる。
直接、抱かせるので高圧ＲＦコネクタも不要（手配してしまったが･･･）
一方、高周波導入のため、チャンバーに穴をまた明けて、溶接作業もしないといけない。チャンバーは完全に部品を取り払った状態になっているので、蒸着フィラメント回りの組み込みも並行して進めることにした。
フィラメント配置も悩み所だが、結論は出ないのでとりあえずやってみて･･･
完成をやみくもに急いでいる訳ではないが、膜厚測定用のクリスタルも調達中、こちらはｅＢａｙより調達、１０個パックの２個使っちゃった品。
クリスタルのセンサー部分をチャンバー内に設置して、チャンバー外に発信回路を設け、その間の配線長を極力短くする必要があるのだろうね。
