ここしばらく更新していませんでしたが、作業は進めています。
バラバラだった電気系を本体に組み込みを主に作業を進め、ほぼ完成に近づいてきました。
電気関係は左側面に収めました。
蒸着操作は、床に座り込んで操作するようにしました･･･
床に座って、覗き窓から中を見ながら作業します。
上側チャンバーの昇降は、ピンクのハンドパットで操作します。
電動シリンダを使用して駆動しています。
下向きから上向きまで9段階で固定できるようにしました。
鏡の脱着は斜め上向きで作業します。
電気関係の組み込みで手こずった点は、水晶膜厚計のセンサアンプから左側面のマイコンまでの配線をテストの時よりも長くしたら動作しなくなったため、急遽LVDSドライバ・レシーバ（DS90C401,402）調達し回路変更で何とか解決できました。
蒸着条件の方は、何とかなりつつあります。
プラズマクリーニングとアルミの条件はほぼ出ました。
SiO2の蒸着条件も、水晶膜厚計で蒸着厚みの変化が把握できるようになったので、再現性が高まり、条件も概ね決まりつつある状態です。
SiO2は２ｍｍ程度の粒状の材料を使うので、ボートタイプのフィラメントを使用しますが、カタログの推奨ではタンタルなのですが、タングステンと比較すると、ボートへのダメージはタングステンの方が少ないのと、蒸着後のボート周辺の黒化が少ないので、当面問題がなければタングステンを使用することにしました。
価格的にも若干タングステンの方が安くなります･･･
素人条件で、蒸着メーカとは違っていると思いますので、参考にはならないと思いますが･･･どなたか自作されていましたら、情報交換しませんか･･･
何とか、7月の研磨研究会に持ち込みできそうな状態にはなってきました。
あとは、１５ｃｍ、２０ｃｍの鏡ホルダーを準備せねば･･･
