今回は、アルミの上にＳｉＯ２を蒸着するテストを実施しました。
左側がアルミ蒸着用のフィラメントとフィラメントに引っ掛けたアルミ線
右側がタンタルボートの上に乗せたＳｉＯ２粒です。
これを、バッテリースイッチによって通電切り替えします。
鏡のセット状態です、今回の取り付けですと、ボルト部分が未蒸着になってしまいますので本番は鏡にバンドを掛けて、バンドを固定します。
プラズマ処理中･･･
アルミ蒸着中･･･
蒸着終了後･･･
SiO2の周りが黒くなっています。
また、チャンバー内が黄色がかっています、当然鏡も黄色がかっています。
SiO2に何か混入したか、SiO2でなくなったのか･･･まだわかりませんが、着色しています。
蒸着した鏡です。
ボルトの影でSiO2が未蒸着部分があり、SiO2が着色していることがよくわかります。
アルミの膜厚は、ほぼOK
SiO2の膜厚は不明、導通があるので薄いのでしょうか？
ティッシュで表面をなでても、曇らないので硬い膜はできているようですが･･･
今回のまとめ
１．バッテリースイッチは良好で実用問題なし
２．アルミ蒸着は膜厚、密着も実用問題なし
３．SiO2は膜厚不明、着色し実用不可（蒸着温度が高すぎたのか？）
課題
１．SiO2は蒸着膜厚のモニターが必要（蒸発はじめがわからない）
