先日は、ネオントランスでプラズマが発生することを確認しましたが、ネオントランスではプラズマの出力が不足なのでRF電源を使用します。
使用するRF電源は13.56MHzの600Wで出力インピーダンスは50Ωのものです。
RF電源の出力をチャンバー内に突っ込むためにはプラズマ発生時のインピーダンスを電源に整合する必要があります。 この整合させるものがマッチングボックスで、チャンバーに抱かせたものです。
このマッチング回路はオークションで入手したもので、回路はL型になっていましたので、そのままの回路で試運転してみました。
･･･全然、マッチングしません････100W突っ込んで７９W反射で戻ってます、差し引き21Wのプラズマとなります。
回路のLCの定数が合わないのでしょうか、チャンバーの大きさがあわないのでしょうか、真空バリコンを回してもこれ以上値が良くなりません。
マッチング回路を通さずにダイレクトに接続した方が値が良いです･････
TUNE側は容量が不足みたいです、高圧コンデンサを追加しないと駄目でしょうか？？
ネットを彷徨っていると、整合回路はL型、Π型･･･確かにΠ型もあるね。
チャンバーと直列接続のTUNEコンデンサを並列につなぎなおしてΠ型に変更。
再テスト、１００W･･･１０切ってる（おー整合してるー）。
LOAD,TUNE調整すると２までいく、１００W中９８W突っ込むことができるようになりました。
２００W、３００W、４００Wとパワーを上げても整合状態は変化せず問題なし。
５００WもOK･･･ステンレス線の色がなんか変･･･パワーオフ
ステンレス線が赤熱してる･･･くらい、プラズマのパワーが高くなりました。
マッチング回路の方は、さほど熱くなっていません。
最終的には、ファンで空冷します。
本番ではプラズマ電極は太いものに変更します。
材質は悩み中ですが、ステンレスか銅･･･かな～？
