昨日に引き続き、今度はアルミ蒸着テストです。
アルミ蒸着は、ガラスとの密着性が得られるか、またその条件を確認する目的で実施します。 アルミの蒸着にはタングステンフィラメントを使って、アルミ線を引っ掛ける方法で行います。
初回条件
１．前処理 アルコールで拭き上げ
２．５Pa前後で、プラズマ２００Wで３０分（クリーニング）
３．５E-3Pa前後まで本引きして、蒸着開始 電流３０Aで溶け始め
馴染んだら４０Aで飛ばし切る
密着確認のセロハンピールテスト（セロテープを張って、一気に剥がしてアルミが剝がれなければOK）
結果：OKでした。
次、
１．前処理 アルコールで拭き上げ
２．５Pa前後で、プラズマ２００Wで１５分（クリーニング）
３．５E-3Pa前後まで本引きして、蒸着開始 電流３０Aで溶け始め
35Aでキープ飛ばし切る（４０Aだと馴染む前にポタリとアルミが落ちそうだったので、ゆっくり溶かす）
結果：OKです。
蒸着後のチャンバー内はこのような状況
一回使ったフィラメントは脆くなっており、曲げるとポッキリ折れます。
とりあえず、密着性についてはプラズマ処理すれば問題ないようです。
テストで使った鏡は、セリウムで磨くとアルミはすぐに取れます。（まだ保護膜が付いていないので簡単）
