プラズマ電極の材料は、電気抵抗が低い方がロスは少ないと思い銅にしてみました。 蒸着フィラメントのシャッターはフィラメントで熱せられるのでステンレスです。 手配した材料部品が入着したので加工し取り付け完了。 シャッターは手動操作です。 ところで…

先日は、ネオントランスでプラズマが発生することを確認しましたが、ネオントランスではプラズマの出力が不足なのでRF電源を使用します。 使用するRF電源は13.56MHzの600Wで出力インピーダンスは50Ωのものです。 RF電源の出力をチャンバー内に突っ込むために…

新しくマッチングボックスを作り直す材料（アルミ板）とeｂayで購入した中古の高電圧導入端子が届いたので、これらの作業に取り掛かりました。 これが、高電圧導入端子です。 配管ねじはアメリカ規格の1/2-14NPTで、管タップがそこらでは手に入らないため、…

ホームセンターでボルトを調達して、仮組み立てをしてみました。 銅ブスバーとアルミの角棒はセラミックワッシャで絶縁してあります。 フィラメントは４本取り付けできるようになっており、アルミ蒸着とＳｉＯ２蒸着とで、使い分けします。 当初、アルミの角…

本日は、蒸着フィラメント周りの部品加工を実施し、５ｍｍ厚の銅のブスバーとアルミ部品の加工を終えたところ。 白いセラミックの部品はステアタイト碍子でプラズマ電極の絶縁用に使います。 明日、ホームセンターに出向いてボルトを調達してフィラメント部…