本日は、リーク箇所探しの続きです。 作業手順は、スクロールポンプ＋ＴＭＰ＋チャンバーで構成。 ガイスラー管はスクロールポンプ側、クリスタルイオンゲージとサーモカップルはチャンバー側に取り付け、スクロールポンプの到達圧力付近で、パーツクリーナ…

チャンバー側に真空度測定のセンサを取り付けるため、ＮＷ４０のフランジを丸棒より削りだすことにしました、フランジは溶接でＪＩＳフランジに取り付けします。 フランジを削りだしたところです、この後溶接しました。 溶接も1っ回ではうまくいかず、リーク…