新しくマッチングボックスを作り直す材料（アルミ板）とeｂayで購入した中古の高電圧導入端子が届いたので、これらの作業に取り掛かりました。
これが、高電圧導入端子です。
配管ねじはアメリカ規格の1/2-14NPTで、管タップがそこらでは手に入らないため、モノタローで注文しておきました。
直径５ｃｍで厚み２５ｍｍのアルミの部品の中央にタップを切りますが･･･結構大変でした。（汗だくです･･･）
チャンバーにも５ｃｍの穴をホールソーで明けて、この後溶接で取り付けを行いました。また、チャンバーに穴を明けるのは気が引けるのですが、マッチングボックスからプラズマ電極までの配線距離を最短にするためにこの位置に穴を開けて、導入端子を取り付ける必要があるので･･･リークが発生しないように注意して溶接作業！！
溶接作業のためチャンバーから外した部品をすべて取り付けました。
マッチングボックスの箱も３ｍｍのアルミ板を溶接で箱に組み立てて、チャンバーに取り付けました。2個の真空バリコンの間の奥に高電圧導入端子があります。
（今日のところは、マッチング回路は未配線です）
この後、リークが無いか本引きします。
４０分で５E-3Paに到達したので、若干到達速度は遅いものの問題になりそうなリークは発生していないようです。
TMPを停止させて、チャンバー内を少しリークさせて５０Paくらいに落として、高電圧導入端子にネオントランスを接続して通電してみました。
チャンバー内には、仮の電極としてステンレス線を設置してあります。
最初は、ステンレス線が部分的に明るく発光して、光る部分も不安定に場所が変わります。
１０Pa近くになると、ステンレス線全体が安定して発光するようになります。
だんだん、ボヤーっとした光り方になります。
７Pa前後で、安定してボヤーっと光っています。
今回のテストは、ネオントランスで行ったので、パワー的には弱いものでしたがプラズマが安定して発生することは確認できました。
この後は、マッチング回路を接続してRFプラズマを灯してみます。
