20cmまでの鏡であれば3枚同時に蒸着できるようにします。 各鏡の蒸着膜厚の均一性を高めるために蒸着中の鏡を回転させる機構を製作中です。 真空チャンバー内への回転伝達は磁性流体の回転導入装置を使っています。 外部にパルスモータを取り付けて回転…
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