ここしばらくは、上側チャンバーの昇降機構を設計製作しておりました。 上側チャンバーに鏡をセットするので、上昇させた状態でチャンバーを裏返しにできるように製作しました。 これで、鏡のセットも楽にできるはずです。 揚げ降ろしは、油圧のパンタグラフ…

昨日に続きフレームの製作です。 今日は、各機器の配置を決めてフレームに仮固定してみました。 3次元的な配置を事前に設計ことはせずに、現物合わせで配置を考えていきます。 ターボポンプとスクロールポンプが干渉するのでターボポンプを傾けて取り付け。 …

チャンバーの目処もたってきたので、この三連休でフレームの製作に取り掛かりました。 材料は３０ｍｍのＬアングル（鉄）です。 実は、２０１２年の夏に蒸着装置のフレームを制作したのですが、チャンバーの最終形が変わってしまったので、形状を変更する必…

上側チャンバーの製作状況ですが、本日ポートフランジの溶接作業を終えて、下側チャンバーとドッキングさせて、本引きテストを実施しました。 本引き前に、０．０５Ｍｐａ（０．５気圧）に加圧して、ジャジャもれが無いか確認しましたが、今回はＯＫみたいな…

やはり、鏡の回転機構を組み込むと平たい上蓋では鏡と蒸着フィラメントおよびプラズマ電極との距離が近すぎるようなので、当初の計画の上側チャンバーを復活してみることにしました。 上部のポートと補強リブの溶接が未完了のままであったので、溶接作業に取…

プラズマ電極の材料は、電気抵抗が低い方がロスは少ないと思い銅にしてみました。 蒸着フィラメントのシャッターはフィラメントで熱せられるのでステンレスです。 手配した材料部品が入着したので加工し取り付け完了。 シャッターは手動操作です。 ところで…

先日は、ネオントランスでプラズマが発生することを確認しましたが、ネオントランスではプラズマの出力が不足なのでRF電源を使用します。 使用するRF電源は13.56MHzの600Wで出力インピーダンスは50Ωのものです。 RF電源の出力をチャンバー内に突っ込むために…

新しくマッチングボックスを作り直す材料（アルミ板）とeｂayで購入した中古の高電圧導入端子が届いたので、これらの作業に取り掛かりました。 これが、高電圧導入端子です。 配管ねじはアメリカ規格の1/2-14NPTで、管タップがそこらでは手に入らないため、…

ホームセンターでボルトを調達して、仮組み立てをしてみました。 銅ブスバーとアルミの角棒はセラミックワッシャで絶縁してあります。 フィラメントは４本取り付けできるようになっており、アルミ蒸着とＳｉＯ２蒸着とで、使い分けします。 当初、アルミの角…

本日は、蒸着フィラメント周りの部品加工を実施し、５ｍｍ厚の銅のブスバーとアルミ部品の加工を終えたところ。 白いセラミックの部品はステアタイト碍子でプラズマ電極の絶縁用に使います。 明日、ホームセンターに出向いてボルトを調達してフィラメント部…

自作蒸着装置に使用する部品類も、ぼちぼち把握できてきたこの頃です。 振り返れば、10数年前に自作蒸着装置の製作活動を始め、途中製作を中断する時期もありましたが、その間も使えそうな部品が国内外オークションに出品される度に集めてきた、この不使用部…

プラズマ電極用の材料（テフロン丸棒、Ｏリング）を手配したので来週中には到着すると思います。 とりあえず、蒸着テストをまたやってみることにしました。 前回と何も変わってないので、繰り返しですが･･･ 蒸着テストは蒸着できるかの確認が目的なので、手…

昨日、手配していた３８Ｓｑのキャプタイヤケーブルが到着していました。 本日は会社終わってからホームセンターに出向いて丸端子を購入して、電流導入端子とインバータ直流電源との接続を行い、その勢いで蒸着テストを行ってみました。 まずは、接続したケ…

テフロンシートからワッシャをコンパスカッターで切り抜きました。 シートは柔らかいので、簡単に切り抜くことができました。 製作したテフロンワッシャー、購入品のテフロンスリーブ、Ｏリングで銅端子を絶縁します。 Ｏリングはチャンバー内側に取り付けま…

蒸着フィラメントを加熱するための大電流端子を作るために直径２５ｍｍの銅丸棒を調達しました。 今後、多目的に使えるように５端子にすることにしました。 この丸棒を旋盤で加工して、端末にねじを切ります･･･が、うまくいかないので 結局、ダイスで雄ねじ…

今年最初の工作は、真空蒸着チャンバーへの部品取り付けです。 フランジを追加工して、ビューポートや回転導入を取りつけます。 これらの追加部品はＯリングでシールされます、溶接ではないので問題は発生しませんでした。 回転導入は２箇所です（蒸着フィラ…