昨日、手配していた３８Ｓｑのキャプタイヤケーブルが到着していました。
本日は会社終わってからホームセンターに出向いて丸端子を購入して、電流導入端子とインバータ直流電源との接続を行い、その勢いで蒸着テストを行ってみました。
まずは、接続したケーブルです。
いよいよ蒸着テスト開始。
チャンバーは週末に本引きしてバルブ締め切りなので２E+２Pa程度からスタートです。スクロールを回して、TMPを動作させ２０分くらいでいつもの３．８E-3Paまで到達しましたので蒸着開始です。
フィラメントはΦ１．２の純タングステン棒で、大気中のテストでは８０A程度で赤熱開始していましたので、８０Aからスタート。
９０A程度で明るいオレンジ色に加熱してタングステンに巻き付けたアルミ線がうねりだしました。
１００A程度でアルミが溶け出して滴になり落ちそうになった時にタングステン棒を伝って横に一部流れました。
１/３程度は濡れて留まっているようなので、そのまま電流を上げていきます。
１２０Aまで上げると、相当明るいです、のぞき窓から見えるフィラメントを直視できません、眩しい・・・
そのまま、様子を見ていると、のぞき窓の１/３が蒸着されています。
ここで、フィラメントへの通電をオフ。
どうやら、蒸着できたようです。
TMP停止させた後に、大気圧までリークさせて電流導入端子部分のフランジを外します。
実は中にガラスのコースターを仕込んでいました。
コースターも蒸着されています。
こんな感じです。
タングステン棒は・・・折れてます。
電流を急激にオフしたので熱歪で耐えられなかったようです。
蒸着されたコースター（左）ともとの状態のコースター（右）です。
写真だと黒い感じに見えてしまいますが、アルミ蒸着面になってます。
これで、アルミは蒸着できることが確認できました。
ただ、ガラスもアルコールで拭き掃除したくらいでは密着度が不足しているようでティッシュでこすると、ほとんど落ちてしまいます。
最終的にはプラズマでクリーニングするれば、解決できるのではと考えています。
今回のテストで分かった問題は、電流導入端子が温かくなります。熱いという感じではなかったのですが、長時間通電では熱くなる可能性もあり要チェックです。
（テフロンワッシャの連続使用温度は２６０℃なので大丈夫と思いますが･･･）
次は、プラズマクリーニング（イオンボンバート）に取り掛かります。
