今年最初の工作は、真空蒸着チャンバーへの部品取り付けです。
フランジを追加工して、ビューポートや回転導入を取りつけます。
これらの追加部品はＯリングでシールされます、溶接ではないので問題は発生しませんでした。
回転導入は２箇所です（蒸着フィラメントのシャター用と鏡面回転用です）
こちらは、側面に付けた鏡面回転用です。
回転導入は磁性流体のタイプです。
こちらは、ビューポートです。
クリスタルイオンゲージも位置を変更しました、サーモカップルはチャンバーからは外しました。
現在、この様な状態です。
この状態で、本引きを４０分すると４Ｅ－３Ｐａまで到達するので、部品取り付けによる真空度悪化は発生していないようです。
圧力変化を記録できるようにして、グラフにしてみました。
４０分本引きして、ＴＭＰ停止しバルブ締め切りの状態での圧力変化です。
グラフの後ろを縦軸リニアにして見てみると
１分当たり０．１Ｐａ程の圧力変化があります。
リーク量はチャンバー容量を０．０８ｍ３とすると
1.3E-4(Ｐａ・ｍ３/sec)で中真空であれば許容できるレベル･･･
次は、電流導入端子を製作します。
