2015-12-30から1日間の記事一覧

リーク箇所探し（その７）

真空蒸着装置 #物理学

本日は、リーク箇所探しの続きです。作業手順は、スクロールポンプ＋ＴＭＰ＋チャンバーで構成。ガイスラー管はスクロールポンプ側、クリスタルイオンゲージとサーモカップルはチャンバー側に取り付け、スクロールポンプの到達圧力付近で、パーツクリーナ…