リーク箇所探し（その５）

その後、全周溶接を行いリークテストしたところ、前回までカニ泡をふいていた部分のリークは止まったのですが、反対側３か所があらたにリーク･･･
反対側半周を再度リュータで削り落として再溶接。
今度は、完全にギャップが開いた状態での溶接となったので、溶接中のガス吹き出しは発生しませんでした。

今度は、どうでしょう･･･
組み上げて、０．５気圧の加圧テストを実施、少し圧力が下がるが漏れ気配はない。
溶接でチャンバーが温まっているので、冷えると内圧が低下しているのか？

今度は、真空ポンプに接続して、真空引きでテスト。

１時間･･･２時間･･･３時間･･･ケージ圧では変化なし。
一晩明けて･･･ゲージ圧では変化なし。

やっとこ、カニ泡レベルのリークは無くなったようです。
はぁ～、やっとこ止まった。

ゲージではどの程度まで真空度が達しているのか判らないのでガイスラー管で確認

これだと１０～１００Ｐａ程度かな･･･スクロールの到達圧は一桁Ｐａなので、まだ漏れがあるのかな･･･

続いて、チューブ配管ではなくフレキ管で本配管しました。

再度確認・・・ん？　放電がちょっと薄い

部屋を暗くすると･･･ガイスラー間の壁面が蛍光発光･･･つまり一桁Ｐａに到達か

ということで、スクロールポンプの到達圧まではたどり着きました。

ここで、ポンプを油回転ポンプに交換、スクロールよりもさらに一桁真空度が得られるのです。

起動･･･あれ、起動しない･･･モータ断線した。

つまりポンプロックした？？････あとで分解する

再度、スクロールに戻して

では、ターボポンプも始動できるかな。

真空での始動は初めて･･･無事に稼働しますように･･･

ターボポンプのコントローラのスタートボタンを押します･･･

ゆっくり回転が上がっていきます･･･無事ＬＥＤ全灯

では、ストップ･･･これまたゆっくり回転が下がっていきます、無事ＬＥＤ消灯

ターボポンプは動作するみたいです。

現在はチャンバー側にはブルドン式のゲージだけなので、中真空の確認ができないので、次の作業はチャンバー側にゲージポートを設ける作業を行います。

おっとっと･･･油回転ポンプ分解･･･分解方法わかんなかったけど、何とか分解できた。２ステージのポンプ･･･最初複雑そうで見えたが、実は単純。

全部ばらして、部品点検･･･２ndステージが焼けぎみ？

カーボン製のベーンの表面がグズグズで動きが悪い

交換部品探してみよう･･･