チャンバー側に真空度測定のセンサを取り付けるため、ＮＷ４０のフランジを丸棒より削りだすことにしました、フランジは溶接でＪＩＳフランジに取り付けします。
フランジを削りだしたところです、この後溶接しました。
溶接も1っ回ではうまくいかず、リーク発生しましたが、削り落として２回目でＯＫでした。
チャンバーの上側に真空度測定用に、サーモカップルとクリスタルイオンゲージを取り付けています。
このクリスタルイオンゲージは優れもので、これだけで大気圧から１０＾－８Ｐａまで測定ができます。出力はアナログの０－１０Ｖ（ｌｏｇ出力）となります。
表示器がないので、テスターで代用しています。
クリスタルイオンゲージの出力と圧力の換算式はとのことです。
Ｐ＝１０＾（（Ｖ-7.75）/0.75＋２） Ｐ（Ｐａ）、Ｖ（volt)
現在の所、サーモカップルの表示は振り切ってしまうので、クリスタルイオンゲージの値で圧力を確認しています。
チャンバー本引き（ＴＭＰ＋スクロール）４０分で５．０９Ｖまで到達、この先あまり変化しません。圧力換算では２．８Ｅ－２Ｐａでようやくー２乗Ｐａオーダに到達しました、ぎりぎり蒸着ができそうな圧力です。
つなみに、ＴＭＰ＋スクロール単体（チャンバーなし）では３．９９Ｖまでいきます、圧力換算では９．７Ｅ－４までいくので、まだチャンバー側でリークが発生していることになります。
チャンバー込でー３乗中盤は何とか行きたいとおもうので、もう暫くリーク箇所探しは続きます。
