3枚目も磨き終えました。
今回の修正方法は、3段階で修正を積み重ねる方法を試しました。
通常は全体的に目標に近づけて進めるのですが、その場合ツールを頻繁に交換する必要がでてきます、研磨が積み重ねの原理が通用するのであれば一つのツールが行う作業をまとめて行っても良いはずです。
よって、大きさの違う大中小のツール3種類を使用して修正研磨してみました。
また、短Fで非球面度が強いためピッチの当たりをよくするために重りを乗せて作業します。
下の写真はTOOL3(小)です。
下のグラフが各ツールのプロファイルとなります。
TOOL1(大)の作業を最初に行い鏡周のカーブを作りこみ、次にTOOL2(中)で中間ゾーンのカーブを作りこみ、最後にTOOL3(小)で中央付近のカーブを作りこむ手順ですすめました。
修正作業の推移は以下のグラフとなります。
各ツールともに中央から掘れてきて最終的にプロファイルの形状に進んでいくことがわかりました、各ツールの繋ぎにまだ課題が残りますが計画的に作業を進めることができます。
最終の測定結果は以下の通りです。
概ね波面精度で1/5λなのでN鏡としては合格ラインです。