真空蒸着装置製作再開！！

望遠鏡製作と両立が難しく長らく製作中断していた真空蒸着装置の製作を再開しました。製作は中断していましたが、必要と思われる部品類の調達は継続しておりましたので、概ね必要なものは揃っているところです。

チャンバーも約１０年眠っていましたから、薄っすらと埃まぎれでした･･･
また、一部計画を変更して、上半分のチャンバー製作は中止で、下半分のチャンバーで構築することとしました、よってチャンバーの蓋は約３０ｍｍのアルミ板です。

チャンバーのＯリング溝の磨きから作業再開です。

現在の装置全景です。
実際使用時には上向きで使いますが、真空度が達成できるまでは、各フランジ部分の点検が容易にできるよう、横向きにキャスター台車に固定しています。

左横にあるのが、粗引き用のスクロールポンプです。
スクロールポンプの上についているＴ字型のものがガイスラー管となります。
まずは、ガイスラー管で真空到達のレベルを確認していきます。

スクロールポンプのアップです。

現在の真空到達度ですが１００Ｐａレベルのようです。

スクロールポンプ単体ですと１０～１Ｐａレベルに達するようなので、スクロールポンプは大丈夫のようです。（ガイスラー管のガラス外壁が蛍光で光っています）

真空蒸着を行うためには、１０Ｅ－３Ｐａレベルが目標となるので、全然だめです。
上蓋のシールに問題があると推測しています。
チャンバー側のフランジが溶接で歪んでしまっているので、均一にＯリングが圧縮されていない状態です。（現在は無理やり絞め込んでいますが、このシャコ万では限界です？（そういう問題ではないのですが･･･）

あと、ガイスラー管でのリークチェックでは怪しいところにアルコールを吹きかけると放電色がピンクから白に変わるとありますが、変わんないんだよねぇ～。
チャンバーからポンプまでの配管が仮配管で細いから伝わらない･･･んな事はないよね～？？